ADS-SHR-DOC-SPECTECH
  • UiTM/B1/PER/SHR/P/0425/0008
  • CADANGAN MENYELENGGARA MESIN SPUTTERING UNTUK MAKMAL FABRIKASI SEMIKONDUKTOR (SEMIKONDUKTOR 09), FAKULTI KEJURUTERAAN ELEKTRIK, UiTM SHAH ALAM.
  • Perkhidmatan Penyelenggaraan / Baikpulih / Servis - Mesin, Peralatan dan Kelengkapan Makmal
  • 2025- BAIKPULIH DAN PENYELENGGARAAN PERALATAN PHYSICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM (Sputtering), DI MAKMAL NANO-ELECTRONIC CENTRE (NET) FAKULTI KEJURUTERAAN ELEKTRIK
  • 1 Set

Maklumat Spesifikasi Teknikal

  
Keterangan Calit Tawaran/Catatan
1. Service and Repair N2 PVD Module Ya

Tidak
I. Nitrogen PVD Module
Ya

Tidak
II. N2 Flow : 4 m3/hr , Nitrogen Purity : 99.99%
Ya

Tidak
III. Discharge Pressure : up to 7 Barg
Ya

Tidak
IV. Inlet/Outlet Port Size ' : 1/2'
Ya

Tidak
V. Oxygen Analyzer included
Ya

Tidak
VI. Rated : 5.5kW , Power Supply : 415VAC/3PH/50HZ
Ya

Tidak
VII. Dismantling PVD Gas Module which includes manifold air distribution,
cathode assembly and purge valve.
Ya

Tidak
VIII. Replacement of Oxygen Analyzer and filament
Ya

Tidak
IX. Rewiring work in PLC, Electrical distribution panel
Ya

Tidak
X. Software adjustment including HMI interface and PLC program ladder
Ya

Tidak
XI. 12 hours process gas monitoring.
Ya

Tidak
2. Vendors be responsible for the installation, and test-run of the equipment and accompanying software (if applicable) to the satisfaction of UNIVERSITI TEKNOLOGI MARA before final acceptance Ya

Tidak
3. Vendors need to ensure that the repaired equipment can function and be used properly after the maintenance work is carried out. Ya

Tidak